镜面火花机放电加工时，刀具电极和工件分别连接脉冲电源的阳极，浸泡在工作液中，或将工作液充电到放电间隙。通过间隙自动控制系统控制工具电极输送到工件，当两个电极之间的间隙达到一定距离时，施加在两个电极上的脉冲电压穿透工作液，引起火花放电。

　　在放电的微通道中，瞬间集中大量热能，温度可以达到10000以上，压力也急剧变化，使该工作表面局部微量金属物质立即熔化、气化，爆炸地溅到工作液上，迅速凝结，形成固体金属粒子，被工作液夺去。这时工件表面留下小凹痕，放电暂时停止，两个电极之间的工作液恢复到绝缘状态。

　　然后，脉冲电压在两个电极相对接近的其他点击穿，引起火花放电，并重复此过程。这样，被各脉冲放电腐蚀的金属量就很少，但由于每秒有数千次脉冲放电作用，可以腐蚀更多的金属，使其具有一定的生产力。

　　在保持刀具电极和工件之间一定放电间隔的同时，腐蚀工件金属，同时继续将刀具电极转移到工件上，加工与刀具电极形状相对应的形状。因此，改变刀具电极的形状和刀具电极和工件之间的相对运动方式，可以加工各种复杂的形状。工具电极一般采用导电性能好、熔点高、容易加工的内战式材料，如铜、石墨、铜合金、钼等。在加工过程中，刀具电极也会损失，但比工件金属的腐蚀量少，接近无损状态。